DHEX-100-50 Hexapod

DHEX-100-50 Hexapod

大寰 Hexapod 是一款高精度六自由度并联运动平台，只需接收笛卡尔坐标系下的位置指令，可在空间六自由度（X、Y、Z、θX、θY、θZ）上实现自动运动与精确定位，从而完成复杂的空间轨迹控制。
该平台结构紧凑、精度高、稳定性强，支持自由定义旋转中心，操作简便、安装便捷。在光纤耦合、硅光芯片测试、摄像头模组组装等高精度应用中，大寰 Hexapod 可实现快速、精准的主动对准；同时也广泛适用于科研实验、精密检测与装配等需要六自由度联动控制的场景。 

应用场景

主动对准｜光纤耦合｜硅光子学晶圆测试｜摄像头模组组装｜光学测试｜精密对准｜精密装配｜科学研究

 

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产品详情 应用案例 相关资料

 

产品特点

结构紧凑

136mm紧凑底盘，114.3mm超低起始高度，轻松集成于有限空间。

超高精度

重复定位精度达±0.06µm，满足微纳级对准与定位需求。

稳定可靠

创新机构设计，有效防止运动“卡滞”，保障长时间稳定运行。

性能卓越

并联结构带来更高刚度、更轻移动质量与更快动态响应，无累积误差。

更多特点

  • 供应保障：自主生产，产能充足，提供稳定供应与快速交付支持。
  • 服务迅捷：专业技术支持，响应及时，并可提供灵活定制解决方案。

产品参数

运动轴
DHEX-100-50
X行程
±17 mm
Y行程
±16 mm
Z行程
±6.5 mm
θX行程
±10°
θY行程
±10°
θZ行程
±21°
X最大速度
20/10 mm/s*
Y最大速度
20/10 mm/s*
Z最大速度
20/10 mm/s*
θX最大角速度
500/250 mrad/s*
θY最大角速度
500/250 mrad/s*
θZ最大角速度
500/250 mrad/s*
X最小位移
0.2 µm
Y最小位移
0.2 µm
Z最小位移
0.08 µm
θX最小位移
2.5 µrad
θY最小位移
2.5 µrad
θZ最小位移
5 µrad
X单向重复性
±0.15 µm
Y单向重复性
±0.15 µm
Z单向重复性
±0.06 µm
θX单向重复性
±2 µrad
θY单向重复性
±2 µrad
θZ单向重复性
±3 µrad
X反向间隙
0.2 µm
Y反向间隙
0.2 µm
Z反向间隙
0.06 µm
θX反向间隙
2 µrad
θY反向间隙
2 µrad
θZ反向间隙
4 µrad
最大负载，底板任意方向
2.5 kg
最大负载，底板水平
5 kg
断电保持力，底板任意方向
2.5 N
断电保持力，底板水平
15 N
*说明
高速为挑战速度，低速为最低指标速度。为了防止长时间以非常高的速度运动后，导致运动不那么平稳，为了产品尽可能可靠，尽量减少风险；低速指标不会对目标应用场景的质量和效率产生影响。

应用案例

 

相关资料

全部 产品手册 3D模型 用户指南 软件插件

DHEX-100-50 Hexapod-2D

版本号 202511 ・ 格式 PDF ・ 日期 2025-11-13 下载

Hexapod参数表DHEX-100-50

版本号 202511 ・ 格式 PDF ・ 日期 2025-11-13 下载

 

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